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【净化无尘室】设计时应考滤的五个特性
来源:天津市净化工程商会 作者:admin 发布日期:2015/5/5 16:26:20 查看次数:

净化无尘室设计时应考滤的五个特性:

(l)耐久性;(2)成本;(3)适应性;(4)可维护性;(5)清洗。

(1)耐久性:

无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性,同时也依赖无尘室等级来建造。半导体Fabs倾向选择铝,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物质。

(2)清洗:

在制药和生物工学工业,无尘室的墙壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止滤过性病毒或细菌的污染之特性。在biotech市场,清洗真正地是一个最重要的企业。

(3)成本:

微电子C/R建设费可能花费到$10亿。fab能更快的被建造起来,产品也就能更快达到这市场。许多半导体公司的口号是较便宜和较好的。然而“钱”将成为一个很重要的考虑因素。

(4)适应性:

一些厂商认为适应性可节省一笔金钱,而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致极大的损失。C/R的拥有者和设计者的能力为改变一C/R的关键,所以他们从不将最初的设计定型。

(5)维护性:

对无尘室C/R而言,较严格要求的部分为地板、天花板,以及墙壁的部分。至于维修的问题,对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。在应用力面、天花板、地板及墙壁三者之中最重要的为天花板,其包含HEPA及ULPA等滤网,其可过滤掉房间的微粒子,且其常会因各个不同的需要,便其分开来,供应各个不同区域的小房间,曾有人说:若建造之预算因某种原因被限制,除了少数的小钱外,其天花板将趋于更贵的地步,其实天花板是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子,故其设计必须精确。

对C/R而言,其选择地板的材料也是很重要的。低廉的C/R地板覆盖着一层乙烯基在薄板上,若太硬的地板覆盖会引起尘埃,而太软的地板会造成地板弯曲甚致破裂,但并不是所有C/R的地板,都会覆盖,乙烯基。有些地板是冲孔式、格子式,而全面层流都是冲孔式。

乙烯基有一作用即脱氧,但高浓度乙烯基与其它物若混合的话将会有减低脱氧的效果,而无尘室的墙若以铝作为材料则将会非常昂贵,但铝却可以保护墙面不被空气所氧化,可是却易受酸性气体的侵蚀,而避免的方法是使用电镀,便铝表面增厚,不易氧化,再在铝表面上再涂上一层亮光漆即可防止金属氧化。

对于半导体工业而言,无尘室是一必要且不可缺之设备,其对空气中的粒子要求非常之严格,故对天花板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输,而清除地板所用者大部分为消毒药品及化学药品,当我们看见地板磨损时,也就是使用期已太久,快破裂了,不仅会使得清静度的降级,也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。

另外,C/R最怕的就是粒子泄漏。天花板中的滤网有很多种。例如层流式C/R而花板的组成组件包含了HEPA/ULPA滤网组灯光组亦有可能包含空白的嵌板,这类型的天花板优点为,放置方式并没有严格的限制。

C/R之墙壁还有一种是以薄钢制成,但必须在表层涂上一层保护层,否则亦会腐蚀,它并不容易电镀,而在表层涂上的保护层会变得易碎,很容易剥落,但若选择高质量的不锈钢,就不必涂上保护层7,而使用玻璃作的C/R会使得房间的光线大增,以及美观,但必须涂上一抗紫外线的障碍物,且可以视觉互通,较不会产生幽闭恐惧症。


 

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